Ansys-CHEMKIN-pro表面反应机制输入(Surface Kinetics Input)规则
2021-05-13 07:29
标签：结束 于平 部分 minor statement open 标准 单位 ica chemkin表面反应机制文件(Ansys-CHEMKIN-pro表面反应机制输入) 1. 文件包含表面活性位（相）、表面组分，固相组分、固相，热力学数据，反应机制； 2. 顺序：物质名称，活性位数据，固相数据，热力学数据，反应数据，end； 3. 参加反应的所有的组分都需要预先定义好，并与热力学数据库中的名称一致； 4. 定义物质：以MATERIAL开头 材料名 END结束； MATERIAL WAFER SITE/POLY/ SDEN/2.25e-9/ SI(S) SICL(S) SICL2(S) SICL3(S) END BULK SI(B)/2.33/ REACTIONS MWOFF CL + SI(S) => SICL(S) 1.0 0.0 0.0 STICK E + CL2+ + 2SI(S) => 2SICL(S) 0.4 0.0 0.0 BOHM E + CL+ + SICL3(S) + SI(B) => SICL4 + SI(S) 0.50 0.0 0.0 BOHM ENRGDEP/1. 0.5 1.0/ UNITS/EVOLT/ E + CL+ + #SICL3(S) + #SI(B) + SICL(S) & => SICL2(S) + #SICL2 + #SICL(S) 0.50 0.0 0.0 BOHM YIELD/0.0712 1.21 0.5 1.0/ UNITS/EVOLT/ ! /A Eth[eV] a b / for #=A(Ei^a-Eth^a)^b END MATERIAL WALL SITE/METAL/ SDEN/2.25E-9/ AL(S) ALCL(S) END REACTIONS MWOFF CL+ + E => CL 0.6 0.0 0.0 BOHM CL + AL(S) => ALCL(S) 1.0 0.0 0.0 STICK END 5. 活性位数据：以SITE开头 SITE名（可省略） SDEN（标准态密度 mole/cm2），SITE名及组分名称不能和气相和固相组分相同，组分命名规则同气相组分规则。用END结束。 6. 固相数据：以BULK开头，/BULK名（可省略）/，固相组分，固相密度（g/cm3）（如果不需要密度，可用-1代替） BULK / GA_RICH / GA2AS(1)/3.0/ GA3AS(1)/3.0/ END !an END statement is optional BULK / GA_RICH / GA2AS(1)/3.0/ GA3AS(1)/3.0/ GA2AS(1)/2.0/ !THIS NAME IS A DUPLICATE AND WILL BE IGNORED BULK AS(B) !BULK PHASE WITH NO NAME SUPPLIED !ONLY ONE BULK SPECIES AND NO DENSITY SUPPLIED END 7. 热力学数据：用于平衡计算，缺少某组分的热力学数据时，可以用半经验公式，或者将反应定义成不可逆，定义假想的数据代替； 8. 反应机制：默认很多规则同气相反应，如单位，反应形式等。 9. 特殊关键词： ATM, BAT, PASCALS, TOR: 压力单位 CAL/mole, EVOLTS, JOULES/mole, KCAL/mole KEVLINS KJOULES/mole: Ei单位 DYNES: Ai单位为dyne/cm2 MOLECULES, MOLES: Ai单位 MWOFF, MWON： 关闭或打开Motz-Wise修正 NONCON: 允许使用non-conservation活性位 SITEFR: Ai单位为1/sec USRPROD：用户自定义 10. 反应数据：长度不超过80个字符，链接上一行用’&’符等规则。 11. 特殊关键词： BOHM： 离子Bohm速度限制 CL+ + E => CL 0.4 0.0 0.0 BOHM COV： 覆盖依赖反应 O(S) +O(S) =>Pt(S) +Pt(S) +O2 3.700E+23 0.0 213.0 COV/O(S) 0.0 0.0 -93.3/ !name nki uki eki DCOL： 反应速率与碰撞频率成比例关系 A1 + 8H(se) => 5H(se) + 6C(B) + 3open(se) + 4H2 + H 0.1 0.0 0.0 FORD/H(se) 2.0/ DCOL/2.46E-8/ STICK DUP： 重复定义反应，同气相反应 ENRGDEP： 电离能依赖反应Ion-energy Dependent Rates E + CL+ + SICL3(S) + SI(B) => SICL4 + SI(S) 0.50 0.0 0. BOHM ENRGDEP/1. 0.5 1.0/ UNITS/EVOLT/ FORD,RORD ： 反应级数，同气相反应 LANG：Langmuir-Hinshelwood反应参数（K=A * T^b * exp(-H/RT)） C6H5CH3 + H2 => C6H6 + CH4 2.507E-8 0.0 0.0 ! rate at 600C LANG /C6H6 1.26 0.0 0.0 1.0/ !name A b H 反应级数 LANG /C6H5CH3 1.01 0.0 0.0 1.0/ LHDE /1/ LHNU /C6H5CH3/ LHPR /atm/ LHDE Langmuir-Hinshelwood分母指数参数，默认值2 LHNU 允许使用LANG计算平衡常数 LHPR 允许在给定的压力单位下使用LANG计算平衡常数 NUCL 反应速率用nucleation reaction rate expression计算 2A4 => 32C(B) + 20 H(se) + 28.72 open(se) 1.0E10 0.5 0.0 NUCL REV 反向反应常数，同气相反应 STICK： 粘性系数，定义的常数被替换为 a b c A1 + 8H(se) => 5H(se) + 6C(B) + 3open(se) + 4H2 + H 0.1 0.0 0.0 FORD/H(se) 2.0/ DCOL/2.46E-8/ STICK UNITS： 修改单个单位，同气相反应 USRPROG： 用户自定义 YIELD： Ion-energy-dependent Yield CF3+ + E + #WSIO2(B) => #SIO2 + CF3 0.33 0.0 0.0 BOHM ! YIELD /0.01 20. 0.5 1.0/ UNITS/EVOLTS/ 用法：用#注释组分，4系数 国内有部分公司提供这个软件的培训，比如： chemkin培训 Ansys-CHEMKIN-pro表面反应机制输入(Surface Kinetics Input)规则 标签：结束 于平 部分 minor statement open 标准 单位 ica 原文地址：https://www.cnblogs.com/johnsen/p/12001510.html
文章标题：Ansys-CHEMKIN-pro表面反应机制输入(Surface Kinetics Input)规则
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